先进科技申请用于键合头组件的柔顺定位结构专利以限制夹头朝向挠性元件的位置偏移
2026-02-13 06:00:03
国家知识产权局信息显示,先进科技新加坡有限公司申请一项名为“用于键合头组件的柔顺定位结构”的专利,公开号CN121335581A,申请日期为2025年7月。
专利摘要显示,一种键合头组件,其包括:夹头和具有平面的平面柔顺定位结构。夹头适用于在键合过程中保持芯片。平面柔顺定位结构包括第一挠性元件和第二挠性元件,第一挠性元件被定位成可以与夹头的第一侧面接触,第二挠性元件被定位成可以与夹头的第二侧面接触。夹头的第一侧面和第二侧面彼此基本上正交。第一挠性元件和第二挠性元件中的每一者都被布置成使得其一部分可通过夹头对挠性元件的移动而偏转,从而致使第一挠性元件或第二挠性元件沿柔顺定位结构的平面对夹头的第一侧面或第二侧面施加偏置力,以限制夹头朝向挠性元件的位置偏移。
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